合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院導(dǎo)師：許高斌 正文

　　姓名：許高斌
　　性別：男
　　出生年月：1970-12
　　職稱(chēng)：教授
　　學(xué)院：電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院
　　研究方向：
　　
　　簡(jiǎn)歷
　　安徽肥東人，2004年畢業(yè)于東南大學(xué)6系，獲工學(xué)博士學(xué)位，2010年在中科院半導(dǎo)體研究所從事高級(jí)訪問(wèn)研究?，F(xiàn)任合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院教授，安徽省MEMS工程技術(shù)研究中心主任。近年來(lái)在IEEE Sensors Journal, Sensors and Actuators, Journal of Micromechanics and Microengineering, 儀器儀表學(xué)報(bào), 半導(dǎo)體學(xué)報(bào), 真空與科學(xué)技術(shù)學(xué)報(bào), 中國(guó)機(jī)械工程, 電子測(cè)量與儀器學(xué)報(bào)等國(guó)內(nèi)外期刊上發(fā)表學(xué)術(shù)論文30余篇，其中SCI收錄5篇，EI收錄17篇。其主要研究的科研成果已在MEMS 專(zhuān)業(yè)設(shè)計(jì)軟件IntenlliSence軟件中使用，取得良好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。應(yīng)邀為APCOT’2008(海峽兩岸微米納米技術(shù)研討會(huì)，2008，臺(tái)灣成功大學(xué))分會(huì)主席(Session Chair of Bio Micro-Nano Technology)，中國(guó)微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)第十一屆學(xué)術(shù)年會(huì)（2009，哈爾濱）分會(huì)主席，應(yīng)邀為第十二屆全國(guó)敏感元件與傳感器學(xué)術(shù)會(huì)議程序委員會(huì)委員（2012.江蘇昆山）。中國(guó)微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)高級(jí)會(huì)員，IEEE Sensors Journal 期刊審稿人。
 

　　研究方向
　　已完成的科研項(xiàng)目：
　　1． 863計(jì)劃項(xiàng)目：MEMS加工與封裝建模．模擬與IP庫(kù)，項(xiàng)目編號(hào)：2003AA404010。項(xiàng)目完成，通過(guò)專(zhuān)家組驗(yàn)收。其科研成果已在MEMS專(zhuān)業(yè)設(shè)計(jì)軟件的測(cè)試模塊中應(yīng)用。
　　2． 863計(jì)劃項(xiàng)目：環(huán)境氣象檢測(cè)微系統(tǒng)開(kāi)發(fā)，項(xiàng)目編號(hào)：2002AA404540。項(xiàng)目完成，通過(guò)專(zhuān)家組驗(yàn)收。
　　3． 總裝備部“十•五”預(yù)研計(jì)劃：用于工藝監(jiān)控的MEMS測(cè)試結(jié)構(gòu)及方法，項(xiàng)目編號(hào)：41308.05.02.06。項(xiàng)目完成，通過(guò)專(zhuān)家組驗(yàn)收。
　　4． 安徽省高校省級(jí)自然科學(xué)研究重點(diǎn)項(xiàng)目：基于MEMS技術(shù)CMOS兼容靜電型微繼電器研究，項(xiàng)目編號(hào)：2006KJ026A，2006,01-2008,12，項(xiàng)目主持人。
　　5． 合肥市重點(diǎn)科技項(xiàng)目計(jì)劃：便攜式微生物總數(shù)快速監(jiān)測(cè)儀，2007,11-2008,12，項(xiàng)目主持人。
　　6． 微電子機(jī)械系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(東南大學(xué))2006年度開(kāi)放課題：薄膜熱學(xué)性能在線(xiàn)測(cè)試結(jié)構(gòu)研究，項(xiàng)目編號(hào)：2006SEU-MEMS05，項(xiàng)目主持人。

　　目前在研的科研項(xiàng)目：
　　1．安徽省自然科學(xué)基金：柔性襯底單壁碳納米管陣列NEMS器件及其在納米集成電路中的應(yīng)用研究，項(xiàng)目主持人。
　　2．中國(guó)兵器工業(yè)第二一四研究所軍工預(yù)研基金項(xiàng)目1：硅基MEMS加速度傳感器（電容式），項(xiàng)目主持人。已流片成功。
　　3．中國(guó)兵器工業(yè)第二一四研究所軍工預(yù)研基金項(xiàng)目2：高g值MEMS加速度傳感器（壓阻式），項(xiàng)目主持人。已流片成功。
　　4．合肥邦立電子有限公司委托研發(fā)項(xiàng)目：數(shù)字電容式液位傳感技術(shù)的應(yīng)用開(kāi)發(fā)，項(xiàng)目主持人。
　　5．合肥工業(yè)大學(xué)重大預(yù)研專(zhuān)項(xiàng)：車(chē)載MEMS傳感器關(guān)鍵技術(shù)，項(xiàng)目主持人。
　　6．國(guó)家自然科學(xué)基金－重大研究計(jì)劃：基于改性TiO2納米管陣列器件的構(gòu)造研究。
　　7．安徽省科技攻關(guān)計(jì)劃項(xiàng)目：SOI基高性能MEMS傳感關(guān)鍵技術(shù)研究，項(xiàng)目主持人。

　　主要研究領(lǐng)域有：
　　目前主要講授的課程有：
　　本科生課程：《半導(dǎo)體器件物理》（安徽省精品課程）；
　　研究生課程：《 MEMS設(shè)計(jì)與應(yīng)用》
　　已畢業(yè)碩士研究生11人，目前指導(dǎo)碩士研究生7人，協(xié)助指導(dǎo)博士研究生1人。

　　獲獎(jiǎng)情況
　　獲獎(jiǎng)：
　　1．2006年度高等學(xué)?？茖W(xué)技術(shù)獎(jiǎng)：自然科學(xué)一等獎(jiǎng)，項(xiàng)目名稱(chēng)：多晶硅電熱微執(zhí)行器模型．制備與表征，個(gè)人證件編號(hào)：2006-***。
　　2．2009年度江蘇省科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)，項(xiàng)目名稱(chēng)：微機(jī)電系統(tǒng)模型．模擬及應(yīng)用。個(gè)人證書(shū)編號(hào)：2009-*-*-**-**。

　　專(zhuān)利：
　?、?授權(quán)發(fā)明專(zhuān)利：導(dǎo)體薄膜熱導(dǎo)率測(cè)試裝置，發(fā)明人：許高斌，黃慶安，專(zhuān)利號(hào)：ZL03113386.X。已授權(quán)。
　?、?授權(quán)發(fā)明專(zhuān)利：數(shù)字電容式液位測(cè)量傳感器，發(fā)明人：許高斌，張肖康，陳興，周革，李一方，專(zhuān)利號(hào)： ZL 200910145055.0。已授權(quán)。
　?、?授權(quán)實(shí)用新型專(zhuān)利：低閾值電壓靜電型微繼電器，發(fā)明人：許高斌，何曉雄，李洋，專(zhuān)利號(hào)：ZL2006201654757。已授權(quán)。
　　④ 授權(quán)實(shí)用新型專(zhuān)利：雙柵溝道導(dǎo)電類(lèi)型可調(diào)單壁場(chǎng)效應(yīng)晶體管，專(zhuān)利號(hào)：ZL 2001120248596，發(fā)明人：許高斌，陳興，周琪，王鵬，常永嘉。已授權(quán)。
　?、?授權(quán)發(fā)明專(zhuān)利：雙柵溝道導(dǎo)電類(lèi)型可調(diào)單壁碳納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管及制備工藝，發(fā)明人：許高斌，陳興，周琪，王鵬，常永嘉，專(zhuān)利號(hào)：ZL 201110197345.7。
　?、?發(fā)明專(zhuān)利申請(qǐng)：不等高梳齒電容式三軸加速度傳感器及其制作方法，申請(qǐng)（專(zhuān)利）號(hào): CN201110190985.5，發(fā)明人：許高斌。公開(kāi)（公告）號(hào): CN102401842A

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