中國計(jì)量大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院導(dǎo)師：嚴(yán)天宏 正文

　　基本信息
　　姓名：嚴(yán)天宏
　　性別：男
　　學(xué)位：博士
　　職稱：教授
　　一級學(xué)科：控制科學(xué)與工程
　　二級學(xué)科：檢測技術(shù)與自動化裝置
　　二級學(xué)院：機(jī)電工程學(xué)院
　　一級學(xué)科2：機(jī)械工程
　　二級學(xué)科2：機(jī)械設(shè)計(jì)及理論
　　研究方向：動力學(xué)分析與優(yōu)化、模態(tài)分析與測試、振動與噪聲控制、精密機(jī)電系統(tǒng)與伺服控制
　　辦公地點(diǎn)：仰南207-1
　　辦公電話：0571-86914578
　　Email：yanth@163.com

　　在研課題
　　[1] 2010年6月獲批 浙江省“杰出青年”基金資助；
　　[2] 2010年9月“高速超精系統(tǒng)的耦合動力學(xué)建模與誤差補(bǔ)償模型研究”獲批國家自然科學(xué)基金資助（2011.1-2013.12）；
　　[3] 2010年11月，獲得流體動力與機(jī)電系統(tǒng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金資助；
　　[4] 2011年01月，獲得數(shù)字制造與裝備技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金資助；
　　[5] 2011.03 某大型叉車的振動傳遞及模態(tài)分析測試及動力學(xué)優(yōu)化；
　　[6] 2013.03 某大型的護(hù)頂架焊接變形分析與預(yù)測及關(guān)鍵控制參數(shù)研究．
　　等

　　獲獎情況
　　1．2006 年1月 被 上海微電子裝備有限公司 評為“先進(jìn)員工”；
　　2．2006年8月 獲得上海“浦江人才計(jì)劃”（A類資助），于2008年8月獲評“出色地”完成了任務(wù)；（★）
　　3．2008年1月，主持的863重大專項(xiàng)子項(xiàng)目“光刻機(jī)機(jī)電聯(lián)合仿真與虛擬試驗(yàn)臺”被評為優(yōu)秀科技成果獎；
　　4．2008年1月，主持的863重大專項(xiàng)子項(xiàng)目“超精密主動減振控制與智能診斷平臺”被評為優(yōu)秀科技成果獎；
　　5．2008年1月 獲得 教育部“自然科學(xué)獎”（一等獎）一項(xiàng)；（★）
　　6．2010年01月，獲得浙江省新世紀(jì)151人才工程資助（第三層次）。（★）
　　7．2011年01月，獲得浙江省新世紀(jì)151人才工程資助（第二層次）。（★）
　　8．2011年01月，獲評校“先進(jìn)科技工作者”；
　　9．2011年01月，獲評校“優(yōu)秀班主任”；

　　近期發(fā)表的主要成果
　　Selected Recent Publications：（標(biāo)*為通信作者）
　　1．T.H. Yan*, B.He, X.D. Chen, X.S.Xu, 2013. Discrete-Time Sliding Mode Control With Computation Time Delay And RRO Compensation For Hard Disk Drives. Mathematical Problems in Engineering, An International Journal. Vol.2013, Paper ID, 2013 (SCI, IF= 0.777). In Pressing
　　2．B.He, B.R.Wang, T.H.Yan, Y.Y. Han, 2013. A Distributed Parallel Motion Control for the Multi-thruster Autonomous Underwater Vehicle, Mechanics Based Design on Structures and Machines, An International Journal. Vol. 42 (2): 236-257, 2013 (SCI, EI).
　　3．T.H.Yan*, X.S. Xu, J.Q. Han, et al, 2011. Optimization of Sensing and Feedback Control for Vibration/Flutter of Rotating Disk by PZT Actuators via Air Coupled Pressure. Sensors. 2011; 11(3):3094-3116.(SCI,IF=1.774)
　　4．X.S.Xu, T.H. Yan*, X.Z.Tao, T.R. Zhu, D.Li, 2012, Generating NC Program based on Template for Mass Customization Product, Assembly Automation, Vol.32(3): .(SCI, IF=0.645)
　　5．J.Q.Han, X.F.Wang, T.H.Yan, X.B.Song, et al. 2012, A Novel Method of Temperature Compensation For Piezoresistive Microcantilever-Based Sensors, Review of Scientific Instruments, 83(3):035002/1~6 (SCI, IF=1.598)
　　6．B.He, S.J.Zhang, T.H. Yan*, Tao Zhang, Y. Liang, H.J. Zhang, 2011. A Novel Combined SLAM Based on RBPF-SLAM and EIF-SLAM for Mobile System Sensing in a Large Scale Environment, Sensors, Vol.11(3), pp.10197-10219. (SCI,IF=1.774)
　　7．B.He, H.J. Zhang, C.Li, S.J. Zhang, Y. Liang, T. H. Yan*. 2011. Autonomous Navigation for Autonomous Underwater Vehicles Based on Information Filters and Active Sensing. Sensors. Vol.11(11):10958-10980 (SCI,IF)
　　8．T.H.Yan, H.Y.Pu, X.D.Chen, Q.Li, C.Xu, 2010, Integrated Hybrid Vibration Isolator with Feedforward Compensation for Fast High-Precision Positioning X/Y Tables. IOP Journal of Measurement Science and Technology. 2010; Vol. 21(6): 065901-065910. (SCI, EI)
　　9．T.H.Yan, et al, 2010, The Discrete-time Sliding Mode Control for High-Precision Stages of Micro-Electronics Equipments, Control Engineering (Chinese Journal), Vol. 17(4): 430-435.
　　10．T.H.Yan, H.Y.Pu, Q.Li, C. Xu, X. D. Chen, 2010, Dynamic Absorber Design for Actuator Arm of Hard Disk Drives on Impact Resist Improvement. Mechanics Based Design on Structures and Machines, An International Journal. Vol.38 (1): 50-73 (SCI, EI).
　　11．J.Lei, X.Luo, X.D. Chen, T.H.Yan, 2010, Modeling And Analysis of A 3-DOF Lorentz-Force-Driven Planar Motion Stage For Nanopositioning, Mechatronics, Vol.20(5), pp.553–565, 2010 ( SCI, EI)
　　12．T.H.Yan, C.Xu, Q.Li, X.D. Chen, 2010, Experimental Study on Multisensing Control with Vibration Control for High-Precision X/Y Stages, The 10th WSEAS International Conference on ROBOTICS, CONTROL and MANUFACTURING TECHNOLOGY (ROCOM '10), Hangzhou, China.
　　13．T.H.Yan, W.Wang, X.D.Chen, Q.Li, C.Xu, 2009, Design of a Smart Ultrasonic Transducer for Interconnecting Machine Applications. Sensors. 2009; 9(6):4986-5000. (SCI, EI)
　　14．T.H.Yan, X.D.Chen, R.M.Lin, 2008, “Servo System Modeling and Reduction of Mechatronic System Through Finite Element Analysis for Control Design”, Mechatronics, Vol.18 (9):466-474, 2008. (SCI, EI)
　　15．T.H.Yan, X.D.Chen, W.F.Dou, R.M.Lin, 2008, “Feedback Control of Disk Vibration and Flutter by Distributed Self-Sensing Actuators”. Mechanics of Structures and Machines, An International Journal. 36(3): 1-23, 2008 (SCI, EI)
　　16．T.H.Yan, X.D.Chen, R.M.Lin, 2007, “Vibration Interaction Characteristics of Disks-Spindle in Hard Disk Drives”. An International Journal for Mechanics Based Design of Structures & Machines. Vol.35 (1): 97–112, 2007. (SCI, EI)
　　17．T.H.Yan, R.M.Lin, 2006, “General Optimization of Sizes or Placement For Various Sensors/Actuators in Structure Testing and Control”. IOP Journal of Smart Material and Structures. Vol. 15(1), 2006. (SCI, EI)
　　18．T.H.Yan, G.W.Zhang, R.M.He, 2006, “New Progresses on Dynamics, Vibration & Control.” (Book in Chinese) Chapter: Integrated Hybrid Vibration Isolating Technology for High-Precision Semiconductor Equipments.” Beijing: China National Astronautics Press, July 2006. (PDF)
　　19．T.H.Yan, W.Chen, 2005, “Quasi-Rigid Mode of Bond Head Assembly in Wire Bonding Machines and its Improvement”. An International Journal for Mechanics Based Design of Structures & Machines. Vol.33 (4) 2005. (SCI, EI)
　　20．T.H.Yan, R.M.Lin, 2004, “Dual-Mass Absorber for the Head Actuator Assembly of Hard Disk Drives”. An International Journal for Mechanics Based Design of Structures & Machines. Vol. 32(2), 2004. (SCI, EI)
　　21．T.H.Yan, R.M. Lin, 2003, ”Experimental Investigation on Pivot Nonlinearity and Accurate Compensation for Servo Control in Hard Disk Drive.” IEEE Transactions of Magnetics. Vol.39(2), March 2003.(SCI, EI)
　　22．T.H.Yan, R.M.Lin, 2004, “Vibration Characteristics of Disks-Spindle System Interaction In Hard Disks.” IEEE/ASME Asia-Pacific Magnetic Recording Conference Korea, 2004.
　　23．T.H.Yan, R.M.Lin, 2002, "Finite Element Modeling and Modal Testing of Vibration Characteristics of Disk Drives.” International Modal Analysis Conference (IMAC)-XX, Los Angeles, California USA, Feb.4-7, 2002.
　　24．T.H.Yan, R.M.Lin, 2002, "Servo system modeling and Reduction for Hard Disk Drives through Finite Element Method.” ASME 13th International Symposiums for Information Storage and Processing System, Santa Clara, California USA, Jun.17-18, 2002.
　　25．T.H.Yan, R.M.Lin, 2002, “Discrete-Time Sliding Mode Control With Computation Time Delay And RRO Compensation For Hard Disk Drives.” IEEE/ASME Asia-Pacific Magnetic Recording Conference 2002, Singapore, Aug. 26-28, 2002.
　　26．T.H.Yan, R.M.Lin, 2002, “Discrete-Time Sliding Mode Repetitive Control for Track-Following System of An Optical Disk Drives.” IEEE/ASME Asia-Pacific Magnetic Recording Conference 2002, Singapore, Aug. 26-28, 2002.
　　27．T.H.Yan, R.M.Lin, 2002, “Feedback Control of Disk Vibration and Flutter by Distributed Self-Sensing Actuators.” IEEE/ASME Asia-Pacific Magnetic Recording Conference 2002, Singapore, Aug. 26-28, 2002.
　　28．R.M. Lin, Y.Y. Wang, T.H.Yan, J.Y.Zhou, 2001, “Compensation for Mechanical Resonance in Head Actuator Assembly of Hard Disk Drives by Multi-Sensing Control.” Technical Report for Industry Project (SONY Singapore Resaerch Lab). Oct. 2001. Totally 104 pages.
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　　******Some Papers Published During Tutoring the Master/PhD Candidates*****:
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　　29．X.D.Chen，X.Z.Yu, X.M.He, T.H.Yan et al. 2008, Dynamic characteristic analysis of precision long stroke linear motor with air-bearing in optical lithography. Chinese Journal of Mechanical Engineering(English Edition). Vol.21 (2), 2008.
　　30．X.D.Chen，H.Z. Guo, T.H.Yan，X.Z.Yu. 2007, The dynamics characteristic and optimization of the Main Plate of Lithography Equipment. Mechanical Engineering of China (In Chinese). Vol.18(21), 2007.
　　31．Y. Sun, X.D.Chen, T.H.Yan, W.C.Jia, 2006, Modules Design of a Reconfigurable Multi-Legged Walking Robot, IEEE International Conference on Robotics and Biomimetics, 2006. ROBIO'06. On page(s): 1444-1449, ISBN: 1-4244-0570-X
　　32．W.C.Jia, X.D. Chen, T.H.Yan, Y.Sun, M.H.Zhou, 2006, Biological Modeling Control of a Multilegged Walking Robot, IEEE/RSJ International Conference on Intelligent Robots and Systems, 2006, On page(s): 5737-5742, ISBN: 1-4244-0259-X.
　　33．X.D.Chen, W.Jiang, T.H.Yan, 2008,“Symbolic Formulation of Linearized ODEs via Matrix Transformation for Vibration Analysis of Multibody Systems” Chinese Journal of Mechanical Engineering. Vol44(6), June 2008.
　　34．T.J. Li, T.H.Yan, X.F.Zhang, 2007, Dynamic Analysis And Simulation of A Spherical Omni-directional Rolling Robot, Journal of Xidian University, Vol.34, No.3: 414 ~ 417,471, 2007.
　　35．T.J.Li, F.J.Wang, T.H.Yan, 2008, Case-based Reasoning Method for Fault Recovery with Expanded Similarity Space, Journal of Xidian University (Natural Science), Vol.35(3):499-503, June 2008.
　　36．S. Y. Zhang, X. D. Chen, H. Zhao, T.H. Yan, 2008, Motion Control of a Precise Wafer Stage, Chinese Journal of Mechanical Engineering, Vol.19, No.12: 1474-1479. June 2008.
　　37．T.J.Li, T.H.Yan etc, 2007, Dynamic Modeling and Simulation of Spherical Omnidirectional Rolling Robot, Journal of System Simulation, Vol.19, No.18：4239 ~ 4242, 2007.
　　38．S. Y. Zhang, X. D. Chen, H. Zhao, T.H.Yan, 2008. Motion Control of Super Precision Stage, Journal of Huazhong University of Science & Technology, Vol.36 (10): 37-40. June 2008.
　　39．X. S. Xu, X. Cheng, T. H. Yan, 2011, Methods on Parameter Calibration and Tolerance Identification of Master Product Variant Model. Journal of Mechanical Engineering (Chinese), Vol.47(1): 132-137, Jan 2011.……
　　等等
　　
　　申請的專利（包括第二作者及以后）：
　　發(fā)明專利（34）項(xiàng)：（近4年內(nèi)發(fā)明授權(quán)19項(xiàng)）
　　01．200710173581.9 一種剪式提升裝置
　　02．200710172427.X 一種工件臺平衡質(zhì)量定位系統(tǒng)（2011-6-15授權(quán)）
　　03．200710172429.9 工件臺平衡質(zhì)量定位系統(tǒng)
　　04．200710173146.6 單孔形標(biāo)記對準(zhǔn)信號處理方法
　　05．200710173575.3 光刻設(shè)備的探測裝置與探測方法
　　06．200810033058.0 一種抓手角度可調(diào)的夾取裝置
　　07．200710172938.1 基于自適應(yīng)糾正處理提高對準(zhǔn)信號處理精度的方法（2009.11.11授權(quán)）
　　08．200710045581.0 一種精密提升裝置
　　09．200510026019.4 一種精密減振和定位裝置
　　10．200510029686.8 一種隨機(jī)響應(yīng)信號測量與分析的方法
　　11．200510112113.1 一種精密定位和調(diào)整工裝（2009.6.24授權(quán)）
　　12．200610025895.X 一種復(fù)合減振式光刻裝置（2009.3.11授權(quán)）
　　13．200610147842.5 懸掛式支撐成像系統(tǒng)及光刻裝置
　　14．200710040650.9 一種傳輸控制裝置及其控制方法（2010.6.9授權(quán)）
　　15．200710040997.3 一種多鏈接傳輸控制方法
　　16．200710041769.8 一種旋轉(zhuǎn)交換的雙臺系統(tǒng)（2009.6.24授權(quán)）
　　17．200710042417.4 光刻機(jī)工件臺平衡定位系統(tǒng)（2009.5.27授權(quán)）
　　18．200710043324.3 垂向微調(diào)及重力補(bǔ)償裝置與光刻機(jī)（2010.1.6授權(quán)）
　　19．200710041226.6 光刻機(jī)工件臺平衡定位系統(tǒng)（2009.8.12授權(quán)）
　　20．200710044559.4 光刻裝置的對準(zhǔn)方法及系統(tǒng)（2009.8.12授權(quán)）
　　21．200710044848.4 脈沖信號的逼近方法 （2009.6.24授權(quán)）
　　22．200710046060.7 氣缸活塞減振裝置（2009.6.24授權(quán)）
　　23．200810036911.4 二維編碼歸一化對準(zhǔn)標(biāo)記組合及其對準(zhǔn)方法和對準(zhǔn)系統(tǒng)（2011.5.11授權(quán)）
　　24．200810036910.X 歸一化對準(zhǔn)標(biāo)記組合及其對準(zhǔn)方法和對準(zhǔn)系統(tǒng)（2011.5.11授權(quán)）
　　25．200810038391.0 光刻設(shè)備的探測裝置、探測方法及制造方法（2010.6.2授權(quán)）
　　26．200810037649.5 六自由度微動臺（2010.6.9授權(quán)）
　　27．200810200646.9 脈沖波強(qiáng)度采樣同步的校準(zhǔn)方法與系統(tǒng)
　　28．200810200919.X 主動減振系統(tǒng)及其預(yù)見控制方法（2010.10.27授權(quán)）
　　29．200810200647.3 信道增益數(shù)字均衡自適應(yīng)校準(zhǔn)系統(tǒng)與方法（2011.11.30授權(quán)）
　　30．200810201311.9 主動減振隔振裝置及主動減振隔振系統(tǒng)（2010.6.9授權(quán)）
　　31．200810200917.0 一種同軸度檢測裝置
　　32．200910045207.X 一種減振支撐裝置
　　33．200780050936.3 可逆極性解碼器電路及相關(guān)方法
　　34．201010121928.7 一種活塞往復(fù)式壓縮機(jī)“無余隙”機(jī)型的分體型吸氣閥體及安裝方法

　　實(shí)用新型專利（7）項(xiàng)：
　　35．200720074739.2 活塞氣缸減振機(jī)構(gòu)
　　36．200720076163.3 垂向微調(diào)及重力補(bǔ)償機(jī)構(gòu)
　　37．200620041223.3 一種可以轉(zhuǎn)出的帶有記憶功能的六自由度精密調(diào)節(jié)裝置
　　38．200620049444.5 一種柔性支撐機(jī)構(gòu)
　　39．200720067425.X 一種大阻尼精密柔性支撐機(jī)構(gòu)
　　40．200720076162.9 一種工件臺平衡定位裝置
　　41．200720076166.7 一種精密提升裝置
　　帶領(lǐng)課題組共申請專利41項(xiàng)，其中34項(xiàng)發(fā)明專利，19項(xiàng)發(fā)明專利業(yè)已授權(quán)。

　　主持完成的科研項(xiàng)目
　　主持和主要參與完成的項(xiàng)目：
　?。?）100nm步進(jìn)掃描光刻機(jī)研制（2004-2008）（十五與863重大專項(xiàng)，主要參與，負(fù)責(zé)整機(jī)系統(tǒng)的動力學(xué)仿真與機(jī)電控制一體化優(yōu)化，以及精密減振系統(tǒng)設(shè)計(jì)與研制）；
　　（2）雙軸驅(qū)動高速高精工件臺研制（2006上海浦江人才計(jì)劃A類，06PJ14020，主持完成）；
　　（3）高速高精運(yùn)動的生成與控制（國家973計(jì)劃，2003CB716206）；（參與）
　?。?）超精密主動氣浮減振控制與智能診斷平臺（國家863重大專項(xiàng)子項(xiàng)目，主持完成）；
　　（5）光刻機(jī)機(jī)電聯(lián)合仿真與虛擬試驗(yàn)臺（國家863重大專項(xiàng)子項(xiàng)目，主持完成）；
　　等等。

　　個人簡歷
　　男，1971年5月生于內(nèi)蒙烏蘭浩特市。1999年3月于哈爾濱工業(yè)大學(xué)航天學(xué)院，獲得博士學(xué)位。主要從事高速高精機(jī)器與復(fù)雜設(shè)備系統(tǒng)的動力學(xué)建模與優(yōu)化、結(jié)構(gòu)工程及振動控制等方面的研究。在實(shí)際工作中，已陸續(xù)參加和主持了國內(nèi)外（科技部、中國航天科技集團(tuán)，中科院重大知識創(chuàng)新、新加坡政府、世界第一大半導(dǎo)體封裝設(shè)備供應(yīng)商ASM亞太研究中心，上海微電子裝備有限公司等），某大型叉車的模態(tài)分析、測試、振動傳遞機(jī)理及動力學(xué)優(yōu)化等多項(xiàng)大型高新項(xiàng)目的研究，參加和承擔(dān)過國家十五與863重大專項(xiàng)，承擔(dān)2項(xiàng)有關(guān)的重大專項(xiàng)的子項(xiàng)目，如水下無人巡航機(jī)器人、后道微電子封裝設(shè)備（如引線鍵合機(jī)、注塑封裝機(jī)等）、前道制造設(shè)備（100nm光刻機(jī)）的研究工作，在業(yè)內(nèi)從事超精密半導(dǎo)體制造設(shè)備研制工作多年，攻克了許多技術(shù)難關(guān)。2009年以來與中國海洋大學(xué)水下機(jī)器人項(xiàng)目組合作，擔(dān)任合作教授，已積累較多的工程經(jīng)驗(yàn)，發(fā)表高水平的學(xué)術(shù)論文60余篇，其中SCI收錄近20余篇（其中第一作者16篇）， 申請了近40項(xiàng)高水平的發(fā)明專利，其中19篇業(yè)已授權(quán)，多次受邀參加國內(nèi)外舉辦的高水平的學(xué)術(shù)會議，并受邀為國際有影響的學(xué)術(shù)雜志，如IEEE Transactions on Magnetics、IEEE Transactions on Control System Technology與IEEE Transactions on Automation Science and Engineering，IEEE Trans on Industrial Electronics等多種知名雜志之特約審稿人等。于2006年8月獲上海浦江人才計(jì)劃資助的項(xiàng)目“雙軸驅(qū)動高速高精工件臺研制”（A類），在2008年8月獲評“出色地”完成；2008年1月曾榮獲教育部自然科學(xué)獎一等獎（第二完成人）等多個項(xiàng)目獎。

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