中國科技大學合肥微尺度物質實驗室導師：劉穎 正文

　　個人詳細信息
　　1．個人學習、工作及研究經歷1990-1994 長春光學精密機械學院 理學學士1994-1996 中科院長春光學精密機械研究所應用光學國家重點實驗室1996-2001 中科院長春光學精密機械研究所 理學博士畢業(yè)2001-至今 中國科學技術大學國家同步輻射實驗室2009-2010 德國弗雷德里希•席勒 耶拿大學（Friedrich Schiller University Jena）應用物理研究所 中科院公派訪問學者 2．主要研究方向軟X射線-真空紫外光學 衍射光學 微制作技術 3．代表性科研成果期刊文章（* 通訊作者）：
　　1）Shengnan He，Ying Liu*，Jingtao Zhu，Haochuan Li，Qiushi Huang，Hongjun Zhou，Tonglin Huo，Zhanshan Wang，and Shaojun Fu，"SiC/W/Ir multilayer-coated grating for enhanced efficiency in 50–100 nm wavelength range in Seya–Namioka mount，" Opt．Lett．36（2），163-165 （2011）．
　　2）Shengnan He，Ying Liu*，Keqiang Qiu，Hongjun Zhou，Tonglin Huo，and Shaojun Fu，“Efficiency measurement of optical components in 45-110 nm range at beamline U27，HLS，” Chin．Opt．Lett．8（12），1131-1134 （2010）．
　　3）Ying Liu*，Hans-Jörg Fuchs，Zhengkun Liu，Huoyao Chen，Shengnan He，Shaojun Fu，Ernst-Bernhard Kley，and Andreas Tünnermann，“Investigation on the properties of a laminar grating as a soft x-ray beam splitter，” Appl．Opt．49（23），4450-4459 （2010）．
　　4）Ying Liu*，Xin Tan，Zhengkun Liu，Xiangdong Xu，Yilin Hong，and Shaojun Fu*，“Soft X-ray holographic grating beam splitter including a double frequency grating for interferometer pre-alignment，” Opt．Express 16（19），14761-14770 （2008）．
　　5）Xudi Wang*，Ying Liu，Xiangdong Xu，Shaojun Fu*，and Zheng Cui，“Reactive ion beam etching of HfO2 film and removal of sidewall redeposition，” J．Vac．Sci．Technol．A 24（4），1067-1072 （2006）．

　　授權發(fā)明專利：
　　1）X射線全息衍射光柵分束器，授權號 ZL 200810024295．0．
　　2）光柵離子束刻蝕的光學在線檢測裝置及檢測方法，授權號 ZL 200710020220．0．
　　3）位相型朗奇光柵槽深的光學檢測方法，發(fā)明專利，授權號 ZL 200810021578．x．
　　4）具有刻蝕深度在線檢測機構的衍射光學元件掃描刻蝕裝置，授權號 ZL 200810025255．8．

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